Contact Resistance Thermal — 故障排除
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接触热阻 — 故障排除
常见故障及解决方案
在接触热阻分析中遇到困难时,应该怀疑什么?
让我们整理一下频繁出现的故障。
1. 界面处温度连续(没有跳跃)
原因:接触单元的导导系数过大,或节点合并。$h_c = 10^{10}$ 这样的值实质上相当于完全接触。
对策:将 $h_c$ 值修正为物理上合理的值。确认是否进行了节点合并。
2. 界面温度差与实测值相差很大
比如分析时 $\Delta T = 2$ ℃,但实测却有10℃的情况。
检查清单如下。
| 检查项目 | 常见原因 |
|---|---|
| $h_c$ 的值 | 文献值与实际表面状态的偏差 |
| TIM涂布不均 | 局部仍有空气层 |
| 螺栓紧固力 | 扭矩不足导致接触压力低 |
| 辐射的贡献 | 高温部分还有通过辐射的热传递 |
| 经年劣化 | 导热膏的泵吸或干燥 |
3. 不收敛
原因:在压力依赖的 $h_c$ 表中,零压力时的导导系数为零。接触分离瞬间变为绝热,产生尖峰温度。
对策:即使在零压力下也设置最小导导系数(例如:$h_c = 10$ W/(m$^2$ K))。从物理上讲,通过辐射或空气层进行的微小热传递是存在的。
4. 接触对设置错误
master/slave的分配有影响吗?
影响很大。原则上应将粗网格一侧设为master,细网格一侧设为slave。反向设置会产生穿透,降低温度精度。在Ansys中,将刚体侧设为TARGE170,变形体侧设为CONTA174是基本做法。
接触热阻是一种难以观测的现象,因此需要认真进行验证。
与实测值的比较是最可靠的验证。用热像仪拍摄界面附近的温度分布,与分析结果叠加确认,这是工业中常见的做法。
Coffee Break 闲谈
螺栓重新紧固改善TCR
在半导体制造设备的晶圆台故障案例中,舞台背面的螺栓因热循环而松动。重新紧固后,TCR降低了约40%,面内温度差从±5℃改善至±1.5℃。通过将紧固扭矩确认添加到定期维护检查清单中,防止了故障重复。
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