アクチュエーター変位(厚み方向):
$$\delta_{33}= d_{33}\cdot V$$電荷感度:$S_q = d_{33}\cdot A_e$
共振周波数(厚み振動):
$$f_r = \frac{1}{2t}\sqrt{\frac{1}{\rho \cdot s_{33}^E}}$$電気機械結合係数:
$$k_{33}^2 = \frac{d_{33}^2}{\varepsilon_{33}^T \cdot s_{33}^E}$$d33/d31圧電定数から電荷感度・共振周波数・電気機械結合係数を算出。PZT-4・PZT-5H・PVDFのプリセット対応。センサー/アクチュエーター設計を数値でサポート。
アクチュエーター変位(厚み方向):
$$\delta_{33}= d_{33}\cdot V$$電荷感度:$S_q = d_{33}\cdot A_e$
共振周波数(厚み振動):
$$f_r = \frac{1}{2t}\sqrt{\frac{1}{\rho \cdot s_{33}^E}}$$電気機械結合係数:
$$k_{33}^2 = \frac{d_{33}^2}{\varepsilon_{33}^T \cdot s_{33}^E}$$超音波デバイス:医療用の超音波診断装置の探触子(プローブ)や、工業用の超音波洗浄機・加工機の振動子に使用されます。シミュレーターで計算する共振周波数が、発生させる超音波の周波数設計に直結します。
精密位置決めアクチュエーター:半導体製造装置や走査型プローブ顕微鏡(SPM)のステージなど、ナノメートルレベルの精密な位置決めを実現します。d33モードのスタック型素子が用いられ、印加電圧に対する変位($\delta_{33}$)の関係が設計の基礎となります。
センサー:エンジン燃焼圧力センサーや、構造物の健全性を監視するAE(アコースティック・エミッション)センサーとして利用されます。ここで計算する「電荷感度」が、どれだけ微小な物理量を検知できるかの指標になります。
MEMS/エネルギー収穫:微小な振動エネルギーを電力に変換するパイズエレクトリック・ハーベスティングデバイスや、MEMSスイッチなどに応用されます。d31モードを用いた薄膜型素子が多く、材料の選択と構造設計が重要です。
このシミュレーターを使い始める時、いくつか気をつけないと設計が実際とズレてしまうポイントがあるよ。まず第一に、「d33の値が大きければ常に良いアクチュエーター」というのは誤解だ。確かにd33が大きいと小さな電圧で大きな変位が得られるけど、同時に材料が「柔らかい」傾向にあるんだ。例えば、PZT-5Hはd33が大きい代わりに剛性が低く、大きな力を出す(ブロック力を高める)用途には向かない。逆にPZT-4はd33は少し小さいけど硬くて力強い動作が可能。用途に応じて「変位重視」か「力重視」かで材料を選ぶことが大事だね。
次に、共振周波数の計算は「自由振動」が前提ということを忘れないで。シミュレーターで出てくる $$f_r = \frac{1}{2t}\sqrt{\frac{1}{\rho \cdot s_{33}^E}}$$ は、素子が何にも固定されていない理想状態の式だ。実際には接着剤で固定したり、ホルダーに挟み込んだりするから、共振周波数は計算値より低くなる。例えば、計算で100kHzが出ても、実測では80kHzになることも珍しくない。余裕を持った設計を心がけよう。
最後に、電荷感度Sqは「ノイズ」とセットで考える指標だということ。感度が高いほど微小信号を検知できるけど、同時に外部の電気的ノイズも拾いやすくなる。特にPVDFのような高インピーダンス材料を使うセンサーでは、配線のシールドやアンプの入力インピーダンスの選定が特に重要。シミュレーターで「感度が十分だ!」と喜ぶ前に、信号処理系全体のノイズフロアを考えた設計が必要だよ。